Greene Tweed CHEMRAZ® 520 Perfluoroelastomer

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Greene Tweed CHEMRAZ® 520 Perfluoroelastomer

Subcategory: Fluoropolymer, TS; Elastomer, TS; Thermoset

Material Notes:
Chemraz® 520 is recommended for a wide variety of semiconductor equipment dry processing applications where seal reliability with minimal contaminations is required. Additionally, Chemraz 520 offers excellent performance history in static and dynamic plasma and diffusion processes as well as static photolithography processes. Chemraz 520 is formulated for use in high sealing load applications and where temperatures do not exceed 240°C (464°F). Due to the hardness of this material, low-temperature applications may require smoother hardware surface finishes of 10 micro inches (Ra) and below.

Applications:

Door seals
Slit valves
Isolator valve seats
Lid Seals
Gas inlet seals
KF fitting seals

Information provided by Green Tweed

Available Properties

Specific Gravity
Hardness, Shore A
Tensile Strength @ Break
Elongation at Break
Tensile Modulus
Compression Set
Maximum Service Temperature, Air
Minimum Service Temperature, Air
Color

Property Data

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