Greene Tweed CHEMRAZ® 513 Perfluoroelastomer

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Greene Tweed CHEMRAZ® 513 Perfluoroelastomer

Subcategory: Fluoropolymer, TS; Elastomer, TS; Thermoset

Material Notes:
Chemraz® 513 is recommended for a wide variety of semiconductor equipment dry processing applications where seal reliability with minimal contamination is required. This material offers excellent performance history in static plasma, photolithography and diffusion processes where temperature do not exceed 210°C (410°F) and high-sealing loads are not used. The hardness of this material allows for some hardware finish inconsistency

Applications:

Door seals
Slit valves
Window seals
Isolator valve seals
Lid seals
Gas inlet seals
KF fitting seals

Information provided by Green Tweed

Available Properties

Specific Gravity
Hardness, Shore A
Tensile Strength @ Break
Elongation at Break
Tensile Modulus
Compression Set
Maximum Service Temperature, Air
Minimum Service Temperature, Air
Color

Property Data

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