Greene Tweed CHEMRAZ® 644 Perfluoroelastomer

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Greene Tweed CHEMRAZ® 644 Perfluoroelastomer

Subcategory: Fluoropolymer, TS; Elastomer, TS; Thermoset

Material Notes:
Specifically developed to meet the demands of aggressive dry plasma systems and the corresponding remote O2 cleaning processes, Chemraz® 644, a perfluoroelastomer with a unique formulation, provides enhanced plasma resistance and minimal contamination resulting in less downtime and higher wafer processing yields. Recommended primarily for both static and dynamic oxide etch wafer processing applications, Chemraz 644 remains stable at service temperatures up to 315°C (600°F).

Applications:

Endpoint windows
Bell jar seals
Valve seals
KF fitting seals
Window seals
Isolator valve seals
Lid seals
Gas inlet seals
Slit valves seals
Chamber seals

Information provided by Green Tweed

Available Properties

Specific Gravity
Hardness, Shore A
Tensile Strength @ Break
Elongation at Break
Tensile Modulus
Compression Set
Maximum Service Temperature, Air
Minimum Service Temperature, Air
Color

Property Data

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